氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉
类型:感应炉
加工的原料:二氧化亚硅、单质硅等材料
应用: 氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉,高温区加热,低温区气相沉积收集,适用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。
- 概述
- 规格
- 特点
氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉,高温区加热,低温区气相沉积收集,适用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉有非常完善的可控硅超载、短路和误触发,和过压保护,可在真空或惰性气体环境下工作。