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化学气相沉积炉

类型：感应炉

应用：卧式化学气相沉积炉主要用于以碳氢气体（如c3h8、ch4等）为碳源的材料表面或基体的cvd/cvi处理

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  • 概述
  • 规格
  • 特点

 

 

型号

功率

温度

φ300*600

100kw

2500°

φ500*1000

200kw

2500°

φ800*2000

400kw

2500°

φ1500*2500

1000kw

2500°

 主要技术指标及要求：

（1）   沉积室温度：最高2600℃，2500℃下可持续工作1小时以上，升降温速率1℃/min可控，200~3000℃可测；

（2）   沉积室压力：300~3000pa稳定可控；

（3）   沉积室尺寸：直径300mm，高600mm；

（4）   气体种类：ar、n2、ch4/c3h8，要求流量可控，下进上出；

（5）   物料下进下出，装卸方便；

（6）   报警保护：缺水、短路、过流、过压报警保护；

（7）   环保要求：配有气体过滤系统，最终排出尾气达到国家环保要求。

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  • 长沙诺天电子科技有限公司（总公司）
  • 营业执照号： 9143010356172325x8
  • 电话： 0731-85821632
  • 地址： 湖南省长沙市天心区大托镇黄合村上中棚组
  • 株洲诺天电热科技有限公司（分公司）
  • 营业执照号： 91430211093071528w
  • 地址： 湖南省株洲市天元区天易路959号新马金谷工业园a4栋d号
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